惠然微電子牽手華潤微電子 濱湖加速半導體裝備國產化突破

9月1日下午,“芯鏈協同 共創未來”濱湖區積體電路產業對接會舉行,來自積體電路領域的專家學者、優秀企業家和投資機構代表匯聚太湖之畔,共敘友誼、共話合作、共謀發展電子。中國科學院微電子研究所光電技術中心副主任吳曉斌、浙江省半導體行業協會秘書長丁勇,積體電路產業鏈、生態鏈相關企業代表,相關高校、科研院所代表、投資機構代表,區領導吳虹娟、楊志清出席活動。

惠然微電子牽手華潤微電子 濱湖加速半導體裝備國產化突破

強強聯合,“芯”企未來電子。對接會現場,專注於電子束技術研發與生產的惠然微電子技術(無錫)有限公司與國內領先的IDM半導體龍頭企業華潤微電子有限公司正式簽署戰略合作框架協議,雙方將圍繞半導體裝置國產化,聯合推動量檢測裝置的自主研發與產業化應用,並建立技術交流機制和人才培養機制,深度協同產業鏈上下游資源整合,共同推動關鍵半導體裝備自主可控程序。

惠然微電子牽手華潤微電子 濱湖加速半導體裝備國產化突破

深耕自研,“芯”品迭出電子。一批由惠然微電子自主研發並達到國內領先水平的最新產品集中釋出,展現了國產半導體量測裝備的最新突破。其中,14/22nm CD-SEM關鍵尺寸量測裝置向下相容22nm大規模量產、向上支撐14nm前沿工藝研發,是國內首臺打通“研發+量產”雙場景的高階CD量測裝置;Mask CD-SEM掩模版量測裝備面向22nm及以上節點光刻掩模版關鍵尺寸計量需求,填補了國產高階掩模量測裝置空白;AI-電子束量測技術平臺RMS作為CD-SEM智慧體產線全棧解決方案,補齊了國產裝置在演算法與資料處理端的短板,實現從硬體到軟體的自主可控。

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惠然微電子牽手華潤微電子 濱湖加速半導體裝備國產化突破

湖畔對話,“芯”鏈協同電子。華潤微電子董事長何小龍在交流中說,高階量檢測正從實驗室進入量產線,需要國內客戶的支援與幫助,保障晶圓製造的供應鏈體系安全。惠然微電子董事長王志剛以《埃米時代的量測革命:CD-SEM技術演進、產業趨勢與國產電子束裝備突圍》為題,從技術演進到產業突破,從單點替代到生態共創,細述了國產電子束裝備的突圍之路。在產業交流環節,長電科技、華虹半導體等產業鏈上下游企業的實戰洞見,鯨芯資本、錫高投等投資機構的資本視野,中科院微電子所光電中心等科研院所的前沿智慧碰撞、融合。一句句真知灼見,一個個合作方向,在湖光山色間交織成濱湖“芯”突破的激昂篇章。

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這場對接會,於濱湖而言,既是一次成果展示,又是一頁創“芯”序章電子。作為“543+X”產業的重要組成,積體電路產業已在濱湖蓬勃發展30餘年,在此形成了企業集中、配套完善、服務優質的產業發展體系。

回顧30年成果,全國第一塊超大規模積體電路在此誕生,“神威·太湖之光”的多次世界第一在此實現,江南大學、東南大學、中電科五十八所等高校院所在此匯聚,國家積體電路設計中心、清華無錫智慧產業創新中心等高能級科創平臺在此落地,申威信創、錫芯谷等多個專業化產業園區在此建設,中科芯、卓勝微等行業龍頭和惠然微電子、利普思等中堅翹楚在此集聚電子。今年上半年,全區積體電路產業實現營收超70億元,積體電路設計產業獲評省級中小企業特色產業叢集。

放眼未來,濱湖底氣十足、胸懷開放,致力攜手海內外優秀科研團隊、企業家和投資人,在積體電路領域書寫相互成就、合作共贏的嶄新篇章電子

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